Наименование параметра | Значение |
Внешний вид | прозрачная жидкость красно-коричневого цвета без осадка |
Относительная скорость фильтрации фоторезиста, отн. ед., не более | 2 |
Массовая доля воды, %, не более | 0,6 |
Массовая доля сухого остатка, %, в пределах | 19,0-22,0 |
Массовая доля нафтохинондиазидных групп в пересчете на сухой остаток, %, в пределах | 11,5-15,0 |
Кинематическая вязкость при (20±0,5)°С, в пределах | 6,0-6,5 |
Внешний вид пленки фоторезиста | прозрачная, блестящая без разрывов |
Разрешающая способность (минимальная ширина воспроизводимого элемента), мкм | 2,0±-0,3 |
Толщина пленки, мкм | 1,1±-0,1 |
Устойчивость пленки фоторезиста к проявителю, с, не менее | 180 |
Маскирующие свойства пленки фоторезиста в буферном травителе, проколов/мм2, не более | 0,1 |